УДК 519.711

А. Головатий

Національний університет “Львівська політехніка”,
кафедра систем автоматизованого проектування

МОДЕЛЮВАННЯ ВПЛИВУ КОЛИВАНЬ КУТОВОЇ ШВИДКОСТІ І ТЕМПЕРАТУРИ НА ДИНАМІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ МІКРОМЕХАНІЧНОГО ГІРОСКОПА КАМЕРТОННОГО ТИПУ

© Головатий А., 2008

Показано залежність амплітуди вертикальних коливань робочого органа мікромеханічного гіроскопа від частоти коливань кутової швидкості, а також залежність конструктивних параметрів, а саме жорсткості від температури та змоделювати її вплив на динамічні характеристики гіроскопа. Дослідити зміну резонансних частот пружного підвісу гіроскопа від температури для різних напівпровідникових матеріалів: Si, SiC, SiO2, Si3N4, Ge, SiGe.

The objective of the article is to show the dependence of the vertical oscillations of the sensitive element of the micromechanical gyroscope on the frequency changes of the angular velocity, and also to show the dependence of the constructive parameters, that is the suspension stiffness on temperature effect. To model the change of the resonant frequencies under temperature effect for the various semiconductor materials, such as: Si, SiC, SiO2, Si3N4, Ge, SiGe.

Кількість публікацій – 10

Завантажити статтю