У навчальному посібнику розглянуто особливості крайових задач, які формулюють у процесі автоматизованого проектування МЕМС на компонентному рівні проектування. Практичних навичок використання системи COMSOL набувають виконанням циклу лабораторних робіт, які наведено в цьому посібнику з дисципліни “Комп’ютерні методи в інженерії мікроелектромеханічних систем”.
Посібник буде корисним для студентів, аспірантів та науковців, які спеціалізуються в галузі автоматизованого проектування та математичного моделювання мікроелектромеханічних систем.

Зміст

Передмова

Про авторів