Викладено базові фізичні та математичні моделі функціонування мікро- і наносистемної техніки та моделювання методами комп’ютерної математики MathCAD і Matlab.
Для магістрів та аспірантів вищих навчальних закладів ВНЗ III–IV рівнів акредитації, фахівців у галузі комп’ютерного та інформаційного проектування мікросистемної техніки.

Зміст

Contents

Передмова

Вступ

Про автора