Наведено основні визначення та особливості автоматизованого проектування мікроелектромеханічних систем (МЕМС) на компонентному рівні. Описано основні структурні схеми МЕМС, подано їх класифікацію. Посібник насичений прикладами використання середовища ANSYS для моделювання та дослідження мікроелектромеханічних систем на компонентному рівні проектування.
Подано завдання до лабораторних робіт, короткий опис теоретичних відомостей, методичні вказівки та послідовність виконання роботи, варіанти індивідуальних завдань, контрольні запитання та список допоміжної літератури для самостійного вивчення матеріалу.
Видання розраховано на студентів з інженерної підготовки, що навчаються за напрямом 7.080402 «Інформаційні технології проектування», а також магістрів за напрямом 8.080402 «Інформаційні технології проектування».

Зміст

Передмова.
Дисципліна «Автоматизація проектування мікроелектронних систем».
Лабораторна робота № 1. Основи роботи з середовищем ANSYS.
Лабораторна робота № 2. Автоматизоване проектування акселерометра ємнісного типу: побудова твердотільної моделі.
Лабораторна робота № 3. Модальний аналіз акселерометра ємнісного типу.
Лабораторна робота № 4. Спряжений аналіз акселерометра ємнісного типу.
Лабораторна робота № 5. Постпроцесорна обробка результатів у середовищі ANSYS.
Лабораторна робота № 6. Проектування біметалічного теплового мікроактюатора.
Список літератури.