Проведений аналіз відомих методів, моделей та засобів інформаційних технологій автоматизованого проектування МЕМС. Розроблено метод автоматизованої побудови моделей елементів пластинчастих конструкцій та побудовано математичні моделі для базових конструкцій елементів МЕМС компонентного рівня автоматизованого проектування. Досліджено базові конструкції елементів МЕМС та наведені результати їх аналізу і
синтезу.
Монографія буде корисною радіоінженерам, науковцям і студентам, які спеціалізуються в сфері автоматизованих систем проектування та математичного моделювання мікроелектронних пристроїв.

Зміст

Розділ 1. Аналіз сучасного стану інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС.
1.1. Аналіз існуючих методів інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС.
1.2. Аналіз математичних моделей, конструкцій та принципів роботи елементів МЕМС.
1.3. Аналіз засобів інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС.
1.4. Висновки.
Розділ 2. Розроблення методів і моделей базових елементів для компонентного рівня
проектування МЕМС.
2.1. Розроблення ММ базових електростатичних пристроїв МЕМС.
2.2. Розроблення ММ базових електромагнітних пристроїв МЕМС.
2.3. Розроблення математичних моделей базових термічних пристроїв МЕМС.
2.4. Розроблення ММ базових гідравлічних пристроїв МЕМС.
2.5. Розроблення ММ базових п’єзоелектричних пристроїв МЕМС.
2.6. Розроблення алгоритмів для ІТ аналізу та синтезу МЕМС на схемотехнічному і компонентному рівнях та дослідження точності і адекватності розроблених моделей.
2.7. Висновки.
Розділ 3. Результати аналізу та синтезу елементів МЕМС.
3.1. Результати аналізу розподілу потенціалу та електричного поля в зустрічно-стрижневій
конструкції базового інтегрального давача.
3.2. Результати аналізу залежності ємностей в зустрічно-стрижневій конструкції базового
інтегрального давача.
3.3. Результати оптимізації зустрічно-стрижневої конструкції базового інтегрального давача.
3.4. Результати дослідження акселерометрів ємнісного типу.
3.5. Результати моделювання електромагнітного давача.
3.6. Результати моделювання електромагнітного актюатора.
3.7. Результати моделювання мікропомп.
3.8. Результати моделювання давача тиску ємнісного та п’єзорезистивного типів.
3.9. Результати аналізу термо- та п’єзоелектричного актюаторів.
3.10. Висновки.
Основні результати та висновки.
Додаток А. Значення точок інтегрування та вагових коефіцієнтів.
Додаток Б. Застосування методу скінчених різниць до розв’язання двовимірного рівняння Лапласа.
Додаток В. Основні співвідношення для застосування методу скінченних елементів при визначенні переміщень та напружень в конструкції елементів МЕМС.
Список літератури.