Вимірювання у нанотехнологіях: методи і засоби

За ред. д-ра техн. наук, професора Б. І. Стадника
Код: 978-617-607-997-2
Навчальний посібник / П. Р. Гамула, М. І. Дацюк, В. Я. Крайовський, Я. Т. Луцик, І. П. Микитин, О. П. Ришковський, П. І. Скоропад, Б. І. Стадник. Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2016. 188 с. Формат 170 х 240 мм. Тверда оправа.
Ціна:260,00грн.
Weight: 0 кг

Розглянуто проблематику вимірювань у нанометровому діапазоні. Описано сучасні методи та засоби, що використовуються в нанометрії: інтерферометрично-оптичні засоби, різноманітні види мікроскопії, зокрема сканувальну тунельну, атомно-силову та оптичну мікроскопію ближнього поля тощо. Особливу увагу звернено на оптичні сенсори сканувальної мікроскопії і кантилевери. Розглянуто питання метрологічного забезпечення засобів вимірювань нанометрового діапазону.
Призначений для студентів і аспірантів, які цікавляться нанотехнологіями, а також може бути корисний інженерно-технічним працівникам, що займаються вимірюваннями геометричних розмірів нанометрового діапазону.

Зміст

Вступ