Основи технології напівпровідникових матеріалів

Курило І. В., Губа С.К.
Код: 978-617-607-236-2
Навчальний посібник. Львів: Видавництво Львівської політехніки, 2012. 240 с. Формат 145 х 200 мм. Тверда оправа.
Ціна:209,00грн.
Weight: 0 кг

Викладено основи сучасних технологій отримання напівпровідникових матеріалів. Розглянуто класифікацію чистих і надчистих речовин та основи процесів розділення та очищення матеріалів. Висвітлено основні процеси в гетерогенних хіміко-технологічних системах та фізико-хімічні основи процесів тверднення. Розглянуто питання технології отримання полікристалічних та монокристалічних напівпровідникових матеріалів. Проаналізовано розподіл домішок за методами спрямованої кристалізації. Окремий розділ присвячено основам напівпровідникових нанотехнологій.
Посібник призначений для студентів технічних спеціальностей вищих навчальних закладів, які спеціалізуються в галузі напівпровідникового матеріалознавства та електроніки. Може бути рекомендований аспірантам і викладачам.
Рекомендувало Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України як навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом підготовки “Мікро- та наноелектроніка”.

Зміст

Передмова. Вступ